在很多研究和生产过程中，重要的变量是质量而不是体积。体积流量的测量不如质量流量测量可靠，因为温度或压力的变化会对固定体积的气体密度产生影响。

　　与吹扫表（可变面积表）或涡轮表等体积流量测量设备不同，热质量流量计（MFM）和质量流量控制器（MFC）相对不受输入流量的温度和压力波动的影响。与大多数其他测量体积流量并需要对温度和压力进行单独测量以计算密度以及最终计算质量流量的方法相反，质量流量计/控制器能够直接测量质量流量。

　　质量流量计和控制器是为半导体行业开发的，现在已广泛用于研究实验室，中试工厂和连续过程中。

　　质量流量计和质量流量控制器实际上是在分子水平上测量和控制流量，因此能够向过程中提供非常准确，可重复和可靠的气体输送。

　　热质量流量计和质量流量控制器的优点是：流量精度低，可重复性低，对入口流量温度和压力波动的相对抗扰性以及紧凑型包装中完整的PID控制回路，有助于提高生产率并降低各种成本。分析，工业过程和OEM应用。